Samþætta hreinsiefni fyrir skífu sem er degumming, aðgreining og setja inn (skífubrot, klofning og hreinsunareining) er sérstaklega hönnuð til sjálfvirkrar hreinsunar, fjarlægja stórar agnir, afbrot, sneið, setja og efnahreinsun á hálfleiðara skífum. Þessi búnaður er hentugur fyrir 8 tommu skífur og er með fullkomlega sjálfvirkt ferli, þ.mt fóðrun, úðaþvott, ultrasonic hreinsun, upphitun, afbrot, fjarlægja plötu, sjálfvirk sneið, innsetning snælda og efnafræðilegar ættarþvottar.
Stöfluðu saman eru aðskilin í einu með því að nota sogbikarbúnað. Skemmdir skífur eru greindar og tilkynntar af CCD kerfi áður en þeim er gefið í 8 tommu skaft. Fullt snælda er sjálfkrafa sett inn og flutningur/losun snælda frá degumming hlutanum er meðhöndluð af sjálfvirkum stjórnanda. Stjórnandinn raðar fullu snældunni og sendir það til fóðrunarstöðvar hreinsunarvélarinnar í kjölfarið. Stjórnandi hreinsunarvélarinnar flytur síðan snælduna í gegnum tvo efnahreinsistanka, tvo skolunargeyma og þurrkun á heitu lofti fyrir lokafyrirkomulag og framleiðsla. Allt kerfið er hannað sem samfelld ferli rás, sem krefst þess að rekstraraðilinn aðeins hleður vinnuhlutum og snældum.
Innbyggða hreinsiefnið er útbúið með þremur strikamerkjaskannum til að rekja tölur um ferli og kassettuskilríki við hleðslu, hreinsun og affermandi stöðu. Framleiðslustjórnun á Wafer starfar út frá þessum kóða. Snertiskjárinn inniheldur framan - fest minniskort til að auðvelda gagnaöflun og hægt er að nálgast skráð gögn beint af hýsingartölvunni. Varmaprentari í snælduhleðsluferlinu prentar vinnumerki.
Lykil rafmagnshlutar eru fluttir inn frá Omron, Mitsubishi, Festo, SMC og Keyence, sem tryggir áreiðanlega afköst, langan þjónustulíf og stöðugan rekstur.
Vörubreytur
Framleiðsluflæði:
Álag → qdr → ultrasonic alkalíhreinsun → Degumming tankur → klofning tankur → Settu vélbúnað → skannar og flutningskerfi → (ultrasonic alkalí tankur 1 → ultrasonic alkalí tankur 2 → þurrkur geymir 1 → skolun tankur með hægum lyftingu 2 → þurrkandi tankur 1 → þurrkunargeymir 2 → losun → Buffer)
Helstu efni:
Málmgrind; Tankar nota Sus316 spegilplötur.
Samgöngur:
Vélfærafræði armflutninga.
Vörueiginleikar og forrit
Hannað fyrir skífu degumming, klofning og hreinsun.
Upplýsingar um vörur
Samhæft við tvenns konar vinnuhluta: ingot degumming og sneið (Diamond Wire Cutting eða Slurry Cutting).
- Getu:360 stykki/klukkustund.
AÐFERÐ AÐFERÐ
◇ Í apríl 2024 var skífan, klofning og hreinsunareiningin skipuð og hóf starfsemi á viðskiptavinasíðu fyrir CQAST.
◇ Í nóvember 2024 og janúar 2025 voru tvær einingar til viðbótar ráðnar og hófu starfsemi á viðskiptavinasíðu JRH.
◇ Þetta er lykilvöru fyrir Shengda hálfleiðara búnað.
maq per Qat: Innbyggt hreinsiefni fyrir skífuþurrkun aðskilnað, Kína samþætt hreinsiefni fyrir skífuþurrð aðskilin framleiðendur setja inn
