The wifer tveir - vökvi stakur - hlið bursta og hreinsa snúning - þurrkara (sic hreinsiefni með tveimur - vökva bursta snúningi - þurrkun) samanstendur af einni - stöðvunarbúnaði, Wifer Corriator tæki (með flísargetu)) Single - affermingartæki stöðvar, FFU hreinsunareining, rafmagnsstýringarkerfi, leiðslukerfi og loftkerfiskerfi.
Vörubreytur
1. Framleiðsluflæði:
Hlaðið → Staðsetning → Snúning, burstun, hreinsun, tvö - vökva úða → snúningur, snúningur - þurrkun → losaðu
2.Mor efni:
Málmgrind
PP White Board
3. Transportation:
Wafers eru fluttir með hreinni vélfærafræði.
Vörueiginleikar og forrit
Fjarlægir leifar agnir frá yfirborðs yfirborðinu.
Upplýsingar um vörur
Getu þvottahússins:
1 skífan
Dæmigerður framleiðslutími framleiðslu:
u.þ.b. . 144 sek/stykki (bursta tími er stillanlegur)
Hefðbundnar stærðir:
6 tommur (φ150mm) og 8 tommur (φ200mm)
Ekki - staðlaðar stærðir:
φ150 ~ 153mm og φ200 ~ 203mm
AÐFERÐ AÐFERÐ
◇ Í október 2023 var SIC hreinsiefnið með tveimur - vökva bursta snúningi - þurrkun lokið R & D og sló inn próf í gang.
maq per Qat: Sic hreinsiefni með tveimur vökva bursta snúningi - þurrkun, Kína sic hreinsiefni með tveimur vökva bursta snúningi - þurrkunarframleiðendur
